半導體設備滅火系統大都是根據半導體設備火災特性進行配置滅火劑、探測器等，目前市面上配置的半導體設備滅火系統如柜式二氧化碳滅火系統、D55鈦合金滅火裝置、柜式七氟丙烷滅火裝置等產品，安裝在半導體設備旁邊或是壁掛在設備上。

半導體設備滅火系統由機床滅火裝置、壓力容器、容器閥、內部執行機構、火焰探測器、智能傳感器以及不銹鋼輸送管網等組成的，而半導體設備滅火系統工作原理主要涉及以下幾個方面：

1、火災檢測：半導體設備滅火系統通常配備了火災探測器，如智能溫度傳感器、定溫探測器、線性溫度傳感器、火焰探測器等，能夠及時檢測到半導體設備周圍的火災跡象。

2、信號傳輸：一旦探測器檢測到火災，會將信號傳輸給滅火系統的控制系統。

3、啟動滅火：控制系統接收到火災信號后，會自動啟動滅火裝置。滅火裝置可以通過多種方式進行滅火，常見的包括釋放滅火劑、噴灑水霧、惰性氣體稀釋等。

4、滅火劑作用：滅火劑會與火焰接觸并發生化學反應，從而抑制火焰的燃燒。例如，干粉滅火劑可以通過化學抑制作用滅火，二氧化碳滅火劑可以降低周圍環境的溫度和氧氣濃度來滅火，D55滅火劑是鈦合金火災的克星，能夠有效抑制復燃。

5、滅火效果監測：滅火裝置面板有顯示屏，在滅火過程中會監測滅火效果，確保火焰被完全撲滅以及滅火區域情況。

6、防止復燃：為了防止火災復燃，半導體設備滅火系統會繼續噴灑滅火劑或保持一定的工作狀態，以確保火災完全被撲滅。不同類型的滅火裝置可能會有略微不同的工作原理，但總體上都是通過檢測火災、啟動滅火措施和抑制火焰燃燒來實現消防保護的目的。這些裝置的設計和操作都需要遵循相關的標準和規范，以確保其有效性和安全性。